EDWARDS 磁悬浮涡轮分子泵系列_供应产品

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经营范围：EDWARDS离子泵，EDWARDS隔膜泵，EDWARDS中央控制器

主营行业：

所在地区：英国

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EDWARDS 磁悬浮涡轮分子泵系列

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详细信息

Advanced 系列提供高水平的吞吐量，非常适合您的半导体蚀刻和 CVD 工艺：

占地面积小

吞吐速度从 300 l/s 到 4,500 l/s

吞吐量高达 6 slm 并提高了 H2、N2 和 Ar 性能

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